隨著半導體、電子行業的技術發展，對水處理設備的需求也越來越廣泛，國內外超純水設備的技術也獲得了飛速的發展和廣泛的應用，涌現出一大批超純水處理方面領域的公司企業，。目前國內的超純水制備行業正處于快速的發展階段，但是相比國外的發展水平仍有很大的差距。隨著國內半導體生產線的普及，超純水制備設備的需求越來越大，目前國內的現代超純水水質以電阻率、TOC（總有機碳）、細菌、微粒、DO（溶解氧）、可溶硅、離子和金屬雜質等參數來表征，它們對器件影響大。因此，這就需要設計一臺能夠制備滿足指標要求的浸沒液超純水處理系統，以保證光刻機的正常運行。超純水處理系統是制備超純水的自動控制系統，在光刻機中它作為浸沒控制系統中的子模塊，主要負責對超純水的制備，對超純水污染物質進行處理，并達到浸沒供給液各項指標要求。
EDI超純水設備工作原理：
EDI工作原理如圖所示。EDI膜塊中將一定數量的EDI單元用格板隔開，形成濃水室和淡水室。又在單元兩端設置陰/陽電極。在直流電的推動下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別透過陰陽離子交換膜遷移到濃水室而在淡水室中去除。如下圖：
電場使進水中的水分子在離子交換樹脂界面離解成H+及OH-，并不斷地再生淡水室中陰、陽離子交換樹脂。離子交換樹脂中的陰、陽離子在再生過程中受到相應正負電極的吸引，透過陽、陰離子交換樹脂向所對應的離子膜的方向遷移。當這些離子透過交換膜進入濃室后，H+及OH-重新結合成水。這種H+及OH-的產生、湮滅及陰、陽離子遷移正是離子交換樹脂得以實現連續再生的機理。
EDI超純水設備組成部分：
1、淡水室將離子交換樹脂填充在陰、陽離子交換膜之間形成淡水室
2、濃水室在相鄰淡水單元的陰陽離子交換膜之間添加樹脂，形成濃水室；
3、極水室在電極板與相鄰離子交換膜中間添加樹脂，形成極水室。
一個膜塊中有正、負兩個極水室；
4、絕緣板和壓緊板
5、電源及水路連接
超純水處理設備應用領域：
（1）工業制造業
需要超純水的工業行業主要包括電子、電力、石油化工等。在電子行業中，半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、微電子行業、大規模及超大規模集成電路需要用大量的超純水清洗成品和半成品。在電力生產中，發電系統的發電循環效率取決于系統中水蒸氣的溫度和壓力，且納、氯化物或二氧化硅等污染物易引起渦輪機葉片的腐蝕和污染。在石油化工行業中，高純水主要應用于油田注入水、化工反應冷卻水、化學藥劑、化肥及精細加工、化妝品制造、電鍍行業清洗水、電池行業溶劑用水。
（2）消費品行業
超純水主要應用在食品及制藥行業。隨著環境污染的加劇和人們對健康要求的不斷提高，食品、飲料行業用水的水質要求也隨之提高，高純水在食品飲料行業得到越來越廣泛的應用，如飲用純凈水、飲料、酒類等生產用水、飲料的無菌灌裝、原材料的運輸與清洗、工作場所和設備的高壓清洗等。
醫藥在人們的生活中起著至關重要的作用，醫療用水水質的好壞直接影響著治療水平，關系到病人的生命安全。早在1990年我國出版的《中華人民共和國藥典》二部便規定了醫用蒸餾水、注射用水和無菌注射用水等三種醫藥用水的要求，規定了十一項指標：PH、氯化物、硝酸鹽和亞硝酸鹽、硫酸鹽、鈣鹽、氮、二氧化碳、易氧化物質、不揮發物質、重金屬及熱源?？梢姵兯卺t藥行業的重要性。
（3）實驗室用水
在生命科學的基礎研究和醫藥工程以及醫院的臨床、制藥、生理、生化、化學、物理的各個領域都直接或間接需要使用超純水，細胞或組織培養、試管嬰兒、醫院化驗分析、各種針劑和藥劑的配制稀釋用水。
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